l仪器名称：原子力显微镜

l仪器型号：Dimension Icon

l制造商：美国Bruker

l原产地：美国

l设备功能：通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究固体材料的表面结构及性质，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。

l技术参数：

1. XYZ三轴闭环扫描器：XY方向大于90微米，Z方向达到10微米，低热飘移的水平小于0.2nm/minute；

2. 在高分辨率(＜10nm分辨率)形貌成相的同时可以同步原位获得高分辨率材料表面模量，表面附著力，形变量，能量损耗等；

3. 温度台控度范围：-35~250℃，精度0.1℃。