l仪器名称：纳米压痕仪

l仪器型号：TI Premier

l制造商：Hysitron/海思创

l原产地：美国

l设备功能：主要用于薄膜、陶瓷、复合物、聚合物、微机电系统、生物和金属等领域表征微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试等多项纳米力学材料性能参数。

l技术参数：

(1)载荷：10.005mN；

(2)载荷(力量)分辨率：≤1nN；

(3)载荷噪音背景：20nN；

(4)最大位移：5μm；

(5)位移分辨率：≤0.006nm；

(6)位移噪音背景：＜0.12nm；

(7)热漂移(在室温条件下)：≤0.05nm/s；

(8)最小接触载荷：≤70nN。